Termék áttekintése
Az Industrial Cathodic Arc Evaporation System egy gyártási -minőségű fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) platform, amelyet kopásálló, Alacsony-feszültségű, erős{6}}áramú elektromos ívek alkalmazásával a szilárd katódcélpontok azonnal elpárolognak és ionizálódnak a katódponton, és erősen ionizált fémplazmát hoznak létre.
Az ISO 9001 minőségirányítási szabványok és a CE-megfelelőségi irányelvek szerint tervezett és gyártott rendszer a szerszámgyártás, az autóalkatrészek és az ipari hardverágazatok nagy áteresztőképességű bevonási műveleteire{1}} van konfigurálva. A szabványos konfigurációk több-katódos elrendezést integrálnak független mágneses-mezős kormányzással, programozható egyenáramú/impulzusos előfeszítésű tápegységekkel és automatizált vákuumvezérléssel, hogy fenntartsák a konzisztens filmsztöchiometriát és a sűrű mikrostruktúrákat.
-
![Ívpárologtató vékonyréteg-rendszer]()
Ívpárologtató vékonyréteg-rendszerAz ipari katódos ívpárologtatásos vékonyréteg-rendszert sűrű, erősen tapadó fém-, ötvözet- és kerámia-bevonatok nagy sebességű{0}}lerakására tervezték. Alacsony-feszültségű, nagy-áramú...még több -
![Ívpárologtató PVD berendezések]()
Ívpárologtató PVD berendezésekAz ipari katódos ívpárologtatásos PVD-rendszer alacsony{0}}feszültségű, nagy{1}}áramú elektromos íveket használ a szilárd katódtárgyak elpárologtatására vákuum környezetben. Ez a mechanizmus...még több -
![Vákuumíves vékonyfilm rendszer]()
Vákuumíves vékonyfilm rendszerAz ipari vákuumíves vékonyréteg-rendszer katódos ívpárologtatást alkalmaz sűrű, erősen tapadó fém-, ötvözet- és kerámia vékonyrétegek lerakására. A nagy-áramú, alacsony{2}}feszültségű ív erősen...még több -
![Katódívű vékonyfilmes berendezés]()
Katódívű vékonyfilmes berendezésFizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) rendszer, amely lokalizált kis{0}}feszültségű, nagy{1}}áramú elektromos íveket használ a szilárd katódcélpontok teljesen ionizált plazmává történő...még több -
![Ívpárologtatásos leválasztó berendezés]()
Ívpárologtatásos leválasztó berendezésIpari fizikai gőzleválasztásos (PVD) platform sűrű, kopásálló- és működő kemény bevonatok nagy-sebességű szintézisére tervezve. A nagy-áramú, alacsony-feszültségű katódos ívkisülés szilárd...még több -
![Ívpárologtató vékonyréteg-berendezés]()
Ívpárologtató vékonyréteg-berendezésEz a katódos ívpárologtató rendszer kis{0}}feszültségű, nagy-áramú elektromos íven keresztül elpárologtatja a szilárd katód célpontjait, hogy teljesen ionizált fémplazmát hozzon létre. A...még több
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikációs tartomány / Standard konfiguráció |
|
Kamra méretei |
Átmérő: 800 mm - 1800 mm (Testreszabható függőleges/vízszintes elrendezések) |
|
Kamara anyaga |
Duplafalú-SUS304 rozsdamentes acél belső víz-hűtőcsatornákkal |
|
Végső vákuumnyomás |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Katód konfiguráció |
4-12 négyszögletes/köríves forrás elektromágneses kormányzással |
|
Íves tápegység |
300A - 500Állítható állandó áram, hullámosság<= 2% |
|
Szubsztrát torzítási teljesítmény |
0 és -1000 V között állítható, impulzus előfeszítési frekvencia 10 kHz - 100 kHz |
|
Fűtési rendszer |
Sugárzó fűtőtömb, maximális hőmérséklet 600 fok +/- 5 fokos egyenletesség |
|
Munkadarab forgatása |
Bolygó- vagy kettős{0}}tengelyes forgás, amelyet mágneses folyadékátvezetés hajt |
|
Vezérlőrendszer |
PLC + Ipari PC, recept{1}}vezérelt automatizált sorozatvezérlés |
|
Közüzemi követelmények |
Hűtővíz: 0,25-0,35 MPa, 20-25 fok ; Teljesítmény: 380V/480V, 3 fázis, 50/60 Hz |
Ívpárolgási folyamat
A leválasztási ciklus szigorú eljárási ellenőrzés mellett működik, hogy garantálja a film integritását és az interfész tapadását:
Kiürítés és gázkibocsátás:
A vákuumkamrát leszivattyúzzák az alapnyomásig. Az aljzatot vákuum alatt hevítik, hogy eltávolítsák a felületi illékony anyagokat és a maradék nedvességet.
01
Plazmamaratás (tisztítás):
A fémionos bombázás (titán vagy króm célforrások felhasználásával) atomi szinten megtisztítja a hordozó felületét, eltávolítja a natív oxidokat és aktiválja a felületet.
02
Reaktív lerakódás:
A reaktív gázokat (N2, CH4, O2) tömegáram-szabályozókon (MFC) keresztül fecskendezik be a kamrába, hogy reagáljanak a fémplazma fluxussal (pl. Ti, Cr, AlTi), és összetett filmeket képeznek, mint például TiN, TiAlN vagy CrN.
03
Hűtés és légtelenítés:
A leválasztás utáni hűtés inert gáz atmoszférában, a kamra légtelenítése és az alkatrész visszavétele előtt történik.
04
Támogatott katódcélok
Titán (Ti) és titán alumínium (TiAl):Alapanyag szabványos TiN és nagy -oxidációval- ellenálló TiAlN bevonatokhoz (900 fokig ellenáll az oxidációnak).
Króm (Cr):Dekoratív bevonatokhoz és{0}}korrózióálló CrN/CrC rétegekhez használják.
Cirkónium (Zr) és titán szilícium (TiSi):Speciális dekoratív és extrém kopásálló{0}} nanokompozit fóliákhoz.
Kompatibilis szubsztrátum anyagok
Gyorsacél{0}} (HSS):Csigafúrók, szármarók, főzőlapok és vágólapok.
Cementált karbidok (WC{0}}Co):Indexálható lapkák, dörzsárak és alakító szerszámok.
Mérnöki acélok és ötvözetek:Autóipari szelepalkatrészek, fogaskerekek, rozsdamentes acél szaniterek és titán orvosi implantátumok.
Alkalmazások és teljesítmény hatása
Fémvágó szerszámok:
TiAlN és AlCrN bevonatok felhordása keményfém lapkákra és szármarókra, 200%-ról 300%-ra meghosszabbítva a szerszám élettartamát, és lehetővé téve a száraz, nagy sebességű{2}megmunkálást.
Alakító és bélyegző szerszámok:
Sűrű, alacsony súrlódású-bevonatok felhordása a ragasztókopás, az epedés és a munkadarab letapadásának csökkentése érdekében mélyhúzás során, akár 40%-kal csökkentve az állásidőt.
Gépjármű hajtáslánc:
A dugattyúgyűrűk, az üzemanyag-befecskendező csapok és a szelepemelők kezelése a határsúrlódási együttható < 0,15 értékre való csökkentésére és a kopásos kopás megakadályozására.
Ipari vas- és szaniter csaptelep:
Kemény dekoratív PVD rétegek (TiN arany, rózsaszín arany, fekete cirkónium), amelyek megfelelnek a legalább 500 órás semleges sópermet tesztnek (ASTM B117).
Testreszabás és folyamatkonfiguráció
A berendezések elrendezése a gyártási mennyiség, az alkatrész geometria és a gyári alapterület szerint léptékbe lépve:
Kamra geometriája:
Függőleges rakodószerkezetek nehéz szerszámokhoz; vízszintes kötegelt konfigurációk a nagy{0}}kapacitású lámpatest betöltéséhez.
Forrás integráció:
Hibrid konfigurációk, amelyek a katódos ívforrásokat a kiegyensúlyozatlan magnetronporlasztásos (RMS) katódokkal kombinálják a sima, cseppmentes{0}}többrétegű architektúrák lerakása érdekében.
Szűrőrendszerek:
Opcionális mágneses makrorészecskeszűrők (irányított ívszűrők) a katódcsatornákra szerelve, hogy kiküszöböljék a makro{0}}cseppeket az optikai vagy ultrasima, precíziós funkcionális bevonatok érdekében.
Automatizálási felület:
Az integráció-készen áll a robotrakodó karokra és az automatizált irányított jármű (AGV) kötegelt szakaszolására.
Szerkezeti integritás:A kamratesteken hélium tömegspektrométeres szivárgástesztet végeznek érzékenységi küszöbértéken<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektromos biztonság és megfelelőség:Szigorúan a CE és IEC elektromos biztonsági irányelvek szerint készült, teljes szigetelésvizsgálattal és vészhelyzeti biztonsági reteszekkel.
Funkcionális kifutás-(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell behúzás HF1-HF2) a szabványos tesztkuponokon ellenőrzik a szállítás előtt.
Telepítés és műszaki támogatás
Helyszín előkészítő csomag:
Átfogó közmű-elrendezési rajzok, amelyek részletezik a hűtővíz áramlási sebességét, az elszívó szellőzést, a padló teherbírását és az elektromos vízcseppek specifikációit, 4 héttel a szerződéskötést követően{1}}elértek.
Helyszíni üzembe helyezés:-
A gyári-minősített folyamatmérnökök végzik a mechanikai beállítást, a vákuumszivárgás észlelését, az elektromos integrációt és a kezdeti alapreceptek beállítását az ügyfél létesítményében.
Receptátvitel folyamata:
A szállítás tartalmazza a szabványos alaprecepteket (TiN, TiAlN, CrN), valamint a belső karbantartó és mérnöki csapatok üzemeltetési képzését.
Távoli diagnosztikai támogatás:
Biztonságos ipari útválasztó átjárókkal felszerelt rendszerek a távoli paraméterek hibaelhárításához és PLC logikai diagnosztikához.
GYIK
Jól ismertek{0}}, mint az egyik vezető ívpárologtató vékonyréteg-berendezés gyártója és beszállítója Kínában. Ha testreszabott, Kínában gyártott ívpárologtató vékonyréteg-berendezést szeretne vásárolni, várjuk gyárunk árlistáját. Árkonzultációért vegye fel velünk a kapcsolatot.
