Termék áttekintése
Ezt az elektronsugaras párologtatásos vékonyfilm-berendezést nagy-precíziós fizikai gőzleválasztásra (PVD) tervezték. A fókuszált, nagy-energiájú elektronsugarat a forrásanyagok bombázására használva a rendszer magas párolgási sebességet ér el a magas -olvadáspontú- fémek, oxidok és dielektromos anyagok esetében.
A moduláris vákuumarchitektúrára épülő rendszer több-zsebelektronfegyvereket, testreszabható szubsztrát-rögzítéseket és fejlett in{1}}helyi felügyeletet tartalmaz. K+F-laboratóriumokat és nagy áteresztőképességű{3}}gyártósorokat szolgál ki, amelyek szigorú ellenőrzést igényelnek a film sztöchiometriája, adhéziója és az optikai teljesítmény tekintetében.
-
![Nagyvákuumú elektronsugaras elpárologtató berendezés]()
Nagyvákuumú elektronsugaras elpárologtató berendezésAz EBE{0}}sorozatú nagyvákuumú elektronsugaras elpárologtató rendszer nagy-tisztaságú vékonyrétegeket von le optikai, félvezető- és kohászati alkalmazásokhoz. A mágnesesen fókuszált...még több -
![Elektronsugaras vékonyréteg-leválasztó rendszer]()
Elektronsugaras vékonyréteg-leválasztó rendszerAz elektronsugaras vékonyréteg-leválasztó rendszer irányított, nagy{0}}tisztaságú PVD-feldolgozást biztosít a fejlett kutatás és ipari termelés számára. A vízhűtéses réztégelyben lévő, fókuszált,...még több -
![Elektronsugaras vákuumos elpárologtató berendezés]()
Elektronsugaras vákuumos elpárologtató berendezésEz az elektronsugaras vákuumpárologtató rendszer magas -olvadáspontú- fémek, oxidok és dielektrikumok fizikai gőzleválasztását (PVD) hajtja végre. A fókuszált elektronsugarat vízhűtéses...még több -
![Elektronsugaras vékonyréteg-leválasztó berendezés]()
Elektronsugaras vékonyréteg-leválasztó berendezésEz az ipari elektronsugaras leválasztási rendszer mágnesesen fókuszált elektronágyúkat (3 kW-tól 15 kW-ig) használ a nagy-sűrűségű energiafluxusok vízhűtésű réztűzhelyekbe-irányításához. A...még több -
![Elektronsugaras párologtató vékonyréteg-rendszer]()
Elektronsugaras párologtató vékonyréteg-rendszerAz EBE{0}}sorozatú elektronsugaras elpárologtató rendszert magas-olvadáspontú- fémek, dielektrikumok és optikai anyagok fizikai gőzleválasztására (PVD) tervezték. Mágnesesen eltérített, fókuszált...még több -
![Elektronsugaras párologtató vékonyréteg-berendezés]()
Elektronsugaras párologtató vékonyréteg-berendezésAz EBE{0}}V600 sorozat egy ipari-léptékű fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) platform, amelyet optikai alkatrészek, félvezető eszközök és fejlett anyagok precíz vékony-filmbevonására terveztek....még több
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikációs tartomány |
Megjegyzések / Standard konfiguráció |
|
Végső alapnyomás |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Kriogén vagy turbó{0}}molekuláris pumpáló csoportokkal érhető el |
|
Kamra méretei |
Testreszabott (500-1200 mm belső átmérő) |
304L / 316L rozsdamentes acél, elektro-polírozott |
|
E-A fegyver teljesítményének besorolása |
6 kW-tól 15 kW-ig (több-zsebseprő generátor) |
Programozható sugáreltérítés és több{0}}tégelyes indexelés |
|
Lerakódási arány |
0,1 nm/s és 10 nm/s között |
Valós idejű-zárt-hurkú vezérlés kvarckristály monitoron keresztül |
|
Filmvastagság egyenletessége |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Bolygós vagy kupola szubsztrát rögzítés változtatható fordulatszámmal |
|
Aljzat hőmérséklete |
800 fokos környezeti hőmérséklet |
Beépített sugárzó fűtés PID hővisszacsatolással |
A berendezés legfontosabb jellemzői
Nagy{0}}stabilitású elektronpuska:
Mágneses eltérítéssel és több{0}}pontos fókuszálással rendelkezik, hogy megakadályozza a forrásanyagok helyi túlmelegedését, és kiküszöböli a reaktív párolgás során fellépő köpködést.
Moduláris tégely kialakítása:
4-6-zsebből álló cserélhető kandallóval felszerelve, amely lehetővé teszi a többrétegű lerakódást a vákuum feltörése nélkül.
Fejlett vákuumreteszelés:
A PLC{0}}vezérelt pneumatikus szelepek, az automatizált nagyolás/nagy{1}}vákuum-szekvenálás, valamint a reteszelések védenek a hűtővíz-kimaradás és az áramellátási rendellenességek ellen.
Alacsony-szennyeződésű kamra:
A belső árnyékolás elektro{0}}polírozott rozsdamentes acélt használ, eltávolítható béléssel a részecskék gyors csökkentése és a karbantartási munkák elvégzése érdekében.
Film anyagok és szubsztrátok
Kompatibilis párologtató anyagok
Fémek: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielektrikumok és oxidok: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Aljzattípusok
Szilícium ostyák (2 hüvelyk és 12 hüvelyk között)
Optikai üveg, olvasztott szilícium-dioxid és kvarc hordozók
Rugalmas polimer fóliák (poliimid, PET tekercsről-tekercsre -modulok)
Kerámia hordozók (Al2O3, AlN)
Alkalmazások
Optikai bevonatok:
Tükröződésmentes (AR) bevonatok, keskeny-sávú szűrők és nagy-tükrözésű tükrök lézeres és fotonikai rendszerekhez.
Félvezető eszközök:
Ohmikus érintkezés kialakítása, kapufémezés és{0}}elvonási feldolgozás a mikroelektronikához.
Optoelektronika:
Átlátszó vezetőképes oxid (TCO) rétegek és vékony filmek OLED kijelzőkhöz és fotovoltaikus cellákhoz.
Haladó K+F:
Feltáró vékony{0}filmes mágneses rétegek, szupravezető filmek és több-rétegű heterostruktúrák.
Testreszabás és rendszerkonfiguráció
Minden vékonyfilmes A rendelkezésre álló műszaki adaptációk a következők:
Szivattyúkötél kiválasztása:
Turbó-molekuláris szivattyúk (TMP), krioszivattyúk vagy olaj-diffúziós konfigurációk az alapvákuum- és átviteli követelményekhez szabva.
Load{0}}Lock Integration:
Kézi betöltés-zár vagy automatizált több-kamrás klaszterrendszerek az ultra-magas vákuumintegritás megőrzéséhez és a lapka-áteresztőképesség növeléséhez.
In-In Situ metrológia:
Integrációs portok spektroszkópiai ellipszométerekhez, optikai monitorokhoz vagy maradékgáz-analizátorokhoz (RGA).
Vezérlő szoftver:
Szabadalmaztatott PLC/HMI interfész recepttárral, adatnaplózással és SECS/GEM kommunikációs protokollokkal az intelligens gyári integráció érdekében.
Gyártás és minőségellenőrzés
Hajógyártás:
Minden vákuumkamrát hélium-tömegspektrométeres szivárgásvizsgálatnak vetnek alá, < 1 × 10^-9 Pa·m³/s kilökési küszöbértékkel.
Hegesztési integritás:
AWI hegesztés inert gázos árnyékolás mellett, majd belső felület passziválása és mechanikus polírozása a gázkibocsátás csökkentésére.
Gyári átvételi teszt (FAT):
72-órás folyamatos száraz{2}}futási teszt, amely a szivattyúzási görbéket, az e-gun sweep pontosságát, a reteszelés válaszidejét és a hőstabilitást méri a rekeszbe helyezés előtt.
Megfelelés és szabványok:
ISO 9001 tanúsítvánnyal rendelkező minőségirányítási rendszer szerint gyártva, a CE-irányelveknek és a vonatkozó SEMI (S2/S8) biztonsági és ergonómiai irányelveknek megfelelően kialakított rendszerekkel.
GYIK
Jól ismertek vagyunk-, mint az egyik vezető elektronsugaras párologtató vékonyréteg-berendezés gyártója és beszállítója Kínában. Ha személyre szabott, Kínában gyártott elektronsugaras párologtató vékonyréteg-berendezést szeretne vásárolni, kérjük, kérje gyárunk árlistáját. Árkonzultációért vegye fel velünk a kapcsolatot.
