Termék áttekintése
Ipari több-ívionos bevonóberendezés kemény bevonatok, funkcionális fóliák és dekoratív PVD bevonatok felhordására precíziós alkatrészeken. A nagy-áramú, alacsony-feszültségű vákuumívkisülést használó rendszer közvetlenül elpárologtatja a szilárd célanyagokat (Ti, Cr, Al, Zr). Reaktív gázokkal (N2, O2, C2H2) kombinálva sűrű átmenetifém-nitrideket, karbidokat és oxidokat szintetizál közvetlenül fémes hordozóra.
A moduláris vákuumkamra-architektúrára épülő kulcsrakész PVD-megoldás különféle gyártási léptékekhez{0}}adható el, a K+F kötegelt feldolgozástól az automatizált, nagy{1}}áteresztőképességű soron belüli gyártásig. A rendszert a magas célkihasználásra és az alacsony teljes tulajdonlási költségre (TCO) optimalizálták folyamatos, 24 órás ipari környezetben.
-
![Több-íves vákuumleválasztó berendezés]()
Több-íves vákuumleválasztó berendezésEz a több-íves vákuumleválasztó rendszer katódos ívionos bevonatolási technológiát használ a sűrű, nagy-tapadású kemény bevonatok felvitelére fémes és nem{2}}fémes hordozókra....még több -
![Több-íves ionleválasztó rendszer]()
Több-íves ionleválasztó rendszerThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >A szilárd katódanyag 80%-os...még több -
![Több-ívű PVD vékonyfilmes berendezés]()
Több-ívű PVD vékonyfilmes berendezésAz ipari több-íves PVD rendszer nagy-ionizációs katódos íves fizikai gőzleválasztást alkalmaz, hogy sűrű, sztöchiometrikus kemény bevonatokat (például TiN, TiAlN, CrN és DLC) vigyen fel fémes...még több -
![Több-íves ionleválasztó berendezés]()
Több-íves ionleválasztó berendezésAz ipari több-íves ionleválasztó rendszer sűrű, nagy-adhéziós vékonyrétegeket hoz létre nagy-áramú, alacsony-feszültségű katódos ívpárolgás révén. A szilárd célanyagokat (katódokat) reaktív...még több -
![Több-Arc Ion vékonyréteg-rendszer]()
Több-Arc Ion vékonyréteg-rendszerAz ipari több{0}}ívionos vékonyréteg-rendszer katódos ívpárologtatást alkalmaz, hogy sűrű, nagy-tapadású kerámia- és fémbevonatokat vigyen fel fém- és ötvözetfelületekre. A szilárd katódanyagok...még több -
![Több-ívionos vékonyfilmes berendezés]()
Több-ívionos vékonyfilmes berendezésEz a több-ívionos bevonórendszer katódos ívpárologtatást alkalmaz sűrű, nagy-tapadású kemény bevonatok és funkcionális vékony filmek felhordására. Ha nagy-áramú, alacsony feszültségű ívet üt ki a...még több
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikációs tartomány |
Mértékegység / Megjegyzés |
|
Kamra méretei |
600 x 600 és 1500 x 1800 között |
mm (Egyedi függőleges vagy vízszintes konfigurációk) |
|
Végső vákuumnyomás |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (száraz szivattyú + turbó-molekuláris / olajdiffúziós készlet) |
|
Katódívforrások |
4-16 egység |
Elektromágneses irányított vagy szűrt ívforrások (FCA) |
|
Szubsztrát torzítási teljesítmény |
0 és -1000 között |
V (fejlett impulzusos DC / MF előfeszítési képességek) |
|
Fűtési hőmérséklet |
Szobahőmérséklet 600-ra |
C (PID szabályozású sugárzó fűtőtestek) |
|
Lerakódási egységesség |
<= +/- 5% |
XRF-en keresztül mérve a hatékony munkaterületen |
|
Vezérlőrendszer |
PLC + ipari PC |
Automatizált receptvégrehajtás, SCADA adatnaplózás |
|
Biztonság és megfelelőség |
CE, ISO 9001 |
Kérésre UL-kompatibilis elektromos burkolatok is elérhetők |
A fizikai gőzleválasztási szekvencia szigorú, zárt-hurkú automatizált munkafolyamat szerint működik, hogy biztosítsa a kötegelt-a-kötegelt ismételhetőséget:
Kiürítés és gáztalanítás:
A vákuumkamrát leszivattyúzzák a következő alapnyomásra<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Plazmamarás (bombázás):
Argongázt vezetnek be. Erős negatív előfeszítést alkalmaznak a szubsztrátumtartóra, és Ar-ionokat hoznak létre, amelyek bombázzák a felületet, hogy elporlasztják a natív oxidokat és mikro{1}}szennyeződéseket.
Ívpárolgás és ionizáció:
Az egyenáramú íváram a tömör fém katódot érinti. A helyi katódfolt extrém energiasűrűséget ér el, és azonnal elpárologtatja a célanyagot nagy-sűrűségű plazmaárammá (ionizációs sebesség > 80%).
Reaktív lerakódás:
A reaktív gázokat tömegáram-szabályozókon (MFC-k) keresztül pontosan szabályozott parciális nyomáson injektálják a plazma fluxusba, sztöchiometrikus vegyületfilmeket képezve a forgó hordozókon.
Hűtés és légtelenítés:
A kamra légtelenítése előtt ellenőrzött hűtés történik inert gázvédelem mellett, megakadályozva a frissen bevont alkatrészek oxidációját.
Fólia anyagok és bevonat tulajdonságai
A rendszer támogatja a több-fémkatód elrendezéseket, lehetővé téve az egyrétegű, többrétegű, nano-kompozit és gradiens filmarchitektúrákat:
TiN (titán-nitrid):
Szabványos arany bevonat; keménység 2200–2400 HV; súrlódási tényező 0,4. Elsődleges felhasználás: általános vágószerszámok és mechanikus kopóalkatrészek.
TiAlN (titán-alumínium-nitrid):
Magas-hőmérsékletű oxidációállóság 850 C-ig; keménység 3000-3300 HV. Elsődleges felhasználás: nagy sebességű,{5}}száraz megmunkáló lapkák és motorszelepek.
CrN / CrAlN (króm-nitrid):
Kiváló korrózióállóság és alacsony belső feszültség; anti-beragadás elleni tulajdonságok a nem-vasfémekkel szemben. Elsődleges felhasználás: formák, dugattyúgyűrűk és textilipari gépek alkatrészei.
ZrN / TiCN:
Alacsony felületi érdesség (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Alkalmazások
Precíziós vágószerszámok:
Végmarók, fúrók, főzőlapok és váltólapkák, amelyek megnövelt élettartamot igényelnek nagy hőterhelés mellett.
01
Gépjármű hajtáslánc:
Dugattyúcsapok, szelepemelők, üzemanyag-befecskendező alkatrészek és hajtóműfelületek, amelyek csökkentett határsúrlódást és kopásállóságot igényelnek.
02
Formák és szerszámok:
Műanyag fröccsöntő öntőformák, sajtolószerszámok és présöntvény{0}}betétek, amelyek ragasztókopással és hőfáradással szembeni ellenállást igényelnek.
03
Repülési alkatrészek:
Turbinalapátok és titán kötőelemek, amelyek agresszív korrozív és nagy terhelésű környezetben működnek.
04
Testreszabás és rendszerkonfiguráció
A szabványos katalógustételek ritkán illeszkednek tökéletesen a dedikált gyári elrendezésekhez. A berendezések konfigurációi az egyes alkatrészek geometriája, a ciklusidő célok és a létesítmény korlátai alapján vannak testreszabva:
Kamra geometriája:
Nyolcszögletű vagy hengeres rozsdamentes acél kamrák (SUS304/SUS316L), dupla-falú víz-hűtőköpennyel.
Forrás elrendezése:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Aljzatrögzítés:
Bolygóforgatás (3-tengely) vagy mágneses folyadékátvezetés által hajtott egyforgású mechanizmusok, amelyek garantálják az egyenletes bevonat lefedettséget összetett 3D geometriákon.
Szivattyúzási lehetőségek:
Gyökérfúvók, forgólapátos szivattyúk, kriogén szivattyúk vagy turbomolekuláris szivattyúk, amelyek úgy vannak beállítva, hogy megfeleljenek a szigorú szivattyú-leállási időknek.
Minőségellenőrzési és tesztelési protokollok
Minden gépen szigorú gyári átvételi teszten (FAT) esik át a feladás előtt, dokumentálva a vásárló általi ellenőrzésre:
01
Vákuum integritás teszt:
Hélium szivárgás kimutatása tömegspektrometriával (szivárgási sebesség<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Elektromos biztonság és beégés-:
A tápegységek, a vízhűtéses reteszek és a PLC automatizálási logika 72 órás folyamatos száraz üzeme.
03
Bevonat ellenőrzése (házon belüli{0}}labor):
A Calo{0}}teszttel (filmvastagság), Rockwell-benyomódással (tapadási szilárdság) és nanobenyomódással (keménység) tesztelt mintafutások.
Telepítés, üzembe helyezés és műszaki támogatás
A webhely előkészítésének irányelvei:
Részletes közmű-elrendezési rajzok a hűtővíz áramlására/nyomására, a sűrített levegőre, az elszívó szellőztetésre és az elektromos gyűjtősín követelményekre.
SAT és üzembe helyezés:
Helyszíni telepítés (Site Acceptance Testing), vákuumkalibrálás és alaprecept-átadás, amelyet vezető PVD folyamatmérnökök hajtanak végre.
Folyamat képzés:
Gyakorlati-kezelői képzés, amely magában foglalja a katódcsere ütemezését, a vákuum megelőző karbantartását, a hibaelhárítást és az alapvető receptúra optimalizálását.
Pótalkatrészek támogatása:
A kritikus kopó alkatrészek (katódok, pajzsok, szigetelők és tömítések) raktáron vannak, hogy 48 órán belül kiszállítsák.
Gyakran Ismételt Kérdések
Kínában az egyik vezető több-ívionos vékonyréteg-felszerelés-gyártó és -beszállítóként{0}}ismertek vagyunk. Ha személyre szabott, Kínában gyártott, több{3}}ívionos vékonyréteg-berendezést szeretne vásárolni, várjuk gyárunk árlistáját. Árkonzultációért vegye fel velünk a kapcsolatot.
