Több-íves ionleválasztó berendezés

Az ipari több-íves ionleválasztó rendszer sűrű, nagy-adhéziós vékonyrétegeket hoz létre nagy-áramú, alacsony-feszültségű katódos ívpárolgás révén. A szilárd célanyagokat (katódokat) reaktív gázatmoszférában (például N2, O2 vagy C2H2) párologtatják el, hogy sztöchiometrikus vegyületbevonatokat állítsanak elő. A magas, 80%-ot meghaladó ionizációs rátára tervezték ezt a berendezést, amely kivételes fóliát -hoz-a szubsztráthoz, és extrém mechanikai terhelésnek is megfelelő.

Mágneses szűrt ív technológia:Az integrált mágnestekercsek eltérítik a makro{0}}részecskéket és cseppeket a szubsztrátumáramtól, így ultra-sima, cseppmentes-felületeket hoznak létre a precíziós optikák és vágószerszámok számára.

Zárt{0}}hurkú gázáramlás szabályozása:Az MKS tömegáram-szabályozók a reaktív gáz parciális nyomását +/- 0.1 sccm stabilitási küszöbön belül szabályozzák a reaktív lerakódási fázisok során.

Az aljzat hőmérsékletének szabályozása:A programozható sugárzó fűtőelemek hátsó argon gázhűtéssel kombinálva 150 C és 600 C között tartják a szubsztrátum termikus költségvetését.

Automatizált folyamat receptek:PLC{0}}alapú vezérlőarchitektúra, amely több-lépéses leválasztási protokollokat hajt végre az iontisztítástól, a rétegközi gradiens maratáson át a terminál funkcionális bevonatáig.

Nagyoló szivattyú:Roots ventilátor és forgólapátos mechanikus szivattyú kombináció (Leybold / Edwards alapvonal).

Nagy vákuum szivattyú:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Értékelés és csővezetékek:Pneumatikus rozsdamentes-acél vákuum tolózárak, pneumatikus sarokszelepek és elasztomer-tömített KF/ISO karimák szivárgása-hélium tömegspektrometriával tesztelve (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Nyomásfigyelés:A kombinált Pirani és Cold Cathode ionizációs mérőeszközök valós idejű visszajelzést adnak az atmoszféráról az ultra-nagy vákuumtartományig.

Cél anyagok:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Szubsztrátum anyagok:

• Cementált karbidok (WC{0}}Co)
• Gyors{0}}acélok (HSS)
• Ötvözött acélok (SKD11, 316L, 4140)
• Titánötvözetek (Ti-6Al-4V)
• Mérnöki kerámiák és{0}}hőálló szuperötvözetek

Vágó és alakító szerszámok:TiAlN, AlCrN és TiCN bevonatok felhordása szármarókra, lapkákra, főzőlapokra és sajtolószerszámokra a felületi keménység 3200 HV-ra növelése és a kopásállóság érdekében.

Autóipari alkatrészek:Kemény szén (DLC) és CrN lerakódás a dugattyúgyűrűkön, az üzemanyag-befecskendező csapokon és a vezérműtengelyeken, hogy a súrlódási együttható 0,1 alá csökkenjen száraz futási körülmények között.

Orvosi implantátumok:TiN és ZrN biológiailag kompatibilis diffúziós bevonatok kobalt{0}}króm és titán térd- és csípőízületeken, minimalizálva a fémionok kimosódását és a kopási törmelék képződését.

Repülési hardver:Oxidációnak{0}}álló záróbevonatok megemelt hőküszöbön működő turbinalapátokhoz és rögzítőelemekhez.

Kamra geometriája:Függőleges gödör-típusú, vízszintes elülső-berakodás vagy dupla-ajtóátjáró-a meglévő bolt-padló-elrendezésekhez szabott konfigurációk.

Forrás integráció:Hibrid konfigurációk, amelyek egyetlen kamrán belül egyesítik a katódos ívforrásokat a kiegyensúlyozatlan magnetron porlasztó (Ums) katódokkal.

Jigging és rögzítések:CAD/FEM szimulációval megtervezett bolygókerekes vagy kettős forgású{0}}szerszámszerszámok meghatározott alkatrészgeometriákhoz (pl. hosszú extrudáló szerszámok vagy összetett sebészeti csavarok).

Minőségirányítási szabványok:Az ISO 9001:2015 minőségirányítási és ISO 14001 környezetirányítási rendszerek szerint tervezték, gyártották és tesztelték.

Repülési és orvosi nyomon követhetőség:A folyamatvezérlők és a dokumentációs protokollok kérésre teljesen összhangban vannak a NADCAP AC7102 (Heat Treating/Surface Enhancement) követelményeivel.

Szivárgás integritása:Minden vákuumtartályon hélium-tömegspektrométeres szivárgástesztet végeznek az összeszerelés -kijelentkezése előtt.

Elektromos biztonság:A CE/IEC szabványoknak megfelelő nagy-feszültségű szigetelési ellenállás tesztelése és a földelés folytonosságának ellenőrzése.

Tesztelés-lefutása:Mechanikus forgóhajtások, vízhűtéses áramláskapcsolók és PLC-reteszelő rendszerek 72-órás folyamatos száraz{2}}futási tartóssági vizsgálata.

Szállítandó dokumentáció:Anyagmarási vizsgálati tanúsítványok (MTC), vákuum szivárgásteszt-tanúsítványok, elektromos kapcsolási rajzcsomagok és NIST{0}}nyomon követhető szenzorkalibrációs jelentések.

Az oldal elkészítésének irányelvei:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), környezeti hőmérséklet-tartományok, elszívó szellőztetés és elektromos teljesítménycsökkenés (3-fázisú, 380V/480V, 50/60Hz).

Üzembe helyezési szolgáltatások:Helyszíni mechanikus pozicionálás, vákuumcsövek integráció, elektromos csatlakoztatás és alaprecept-optimalizálás, amelyet helyi vezető helyszíni szervizmérnökök hajtanak végre.

Kezelői képzés:5-napos intenzív helyszíni képzés a rutin karbantartásról, a vákuum hibaelhárításáról, a céltárgycsere protokollokról és a paraméterek hangolásáról bizonyos filmszerkezetekhez.

Alkatrész készlet:A kritikus kopású alkatrészek (katódszigetelők, sötéttér-pajzsok, dinamikus tömítések és izzószál-tömbök) regionálisan raktározva, 48 órán belüli kiszállításra.