Az IBAE rendszer az elektronsugarat- vagy a termikus párologtatást egy integrált széles-sugaras ionforrással kombinálja. Az egyidejű ionbombázás a filmnövekedés során kinetikus energiát ad át a kondenzálódó adatomoknak, megszüntetve az oszlopos mikrostruktúrákat, és közel -tömb-sűrűségű vékony filmeket hoz létre minimális nedvesség-indukált spektrális eltolódással.
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikáció |
|
Alapnyomás |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Üzemi nyomás |
1,0 x 10^(-1) - 1,0 x 10^(-2) Pa |
|
Ionforrás típusa |
Rács nélküli vég-Hall / Kaufmann ionforrás |
|
Ionsugár energia |
50 eV és 1500 eV között (zárt-hurok stabilizált) |
|
Ionnyaláb áramsűrűség |
0-2,5 mA/cm^2 |
|
Párolgási források |
Több-zsebű E-sugaras pisztoly (4 x 15 cc – 6 x 40 cc) / Ellenállási csónakok |
|
Aljzattartó |
Bolygóforgató berendezés 300 C-ig melegítve |
|
Vastagság Egyenletesség |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Vezérlőrendszer |
Siemens S7-1500 PLC + ipari PC (Inficon leválasztásvezérlő) |
Főbb jellemzők
Kettős{0}}módú bombázás:A kinetikus energiaátvitel alacsony hőmérsékleten tömöríti a filmeket, védve a kényes optikát és a polimer szubsztrátumokat.
Zárt{0}}hurkú ionstabilizálás:Az integrált tömegáram-szabályozók állandó ionáramot tartanak fenn a hosszú gyártási folyamatok során, biztosítva a tétel konzisztenciáját.
Moduláris vákuumkamra:304 literes rozsdamentes acél szerkezet elektro-polírozott belsővel (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Automatizált szekvenálás:A PLC{0}}felügyelt szivattyú-leállítási, leválasztási és légtelenítési ciklusok minimalizálják a működési eltéréseket.
Vákuumrendszer konfigurációja
Nagyoló szivattyúk:Olajmentes-szárazgyökerek és forgólapátos szivattyúk.
Nagy vákuum szivattyú:Mágnesesen levitált turbomolekuláris szivattyú (1600 L/s).
Mérők:Pirani, hidegkatódos és Baratron kapacitás manométerek kombinációja.
Szelepelés:Pneumatikus toló- és sarokszelepek hardveres biztonsági reteszeléssel.
Párolgási anyagok és szubsztrátum kompatibilitás
oxidok:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Fluoridok:MgF2, LaF3
Fémek:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Aljzatok:Olvasztott szilícium-dioxid, BK7, szilícium lapkák, germánium, cink-szelenid (ZnSe) és hőálló poliimid.
Alkalmazások
Precíziós optika:Keskeny sávú áteresztő szűrők és DWDM bevonatok, amelyek stabil középső hullámhosszt igényelnek.
Lézer optika:Magas-sérüléses-küszöbű reflektorok és-tükrözésgátló bevonatok.
Félvezető és fotonika:Dielektromos védőrétegek, passziválás és optikai hullámvezetők.
Napenergia:Átlátszó vezetőképes oxid (TCO) interfész módosítása.
Testreszabás
Kamra mérete:Méretezhető átmérők 600 mm-től 1200 mm-ig.
Forrás elrendezése:Maximum három e-sugaras pisztoly és több hőforrás platformonként.
In-In Situ metrológia:Szélessávú optikai monitorozás (BOM) vagy kvarckristály mikromérleg (QCM) integráció.
Automatizálás:A SEMI szabványoknak megfelelő robotizált hordozóbetöltő interfészek.
Minőségellenőrzés
Szivárgás észlelés:Hélium tömegspektrométer vizsgálat kamránként (érzékenység<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Alkatrészek beszerzése:Tier-1 ipari márkák (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Gyári átvétel (FAT):72 órás folyamatos szárazonfutás és ellenőrző bevonat, amely törésmutatót és egyenletességet mér a kiszállítás előtt.
Telepítés és műszaki támogatás
Dokumentáció:Teljes angol nyelvű csomag elektromos kapcsolási rajzokkal, P&ID diagramokkal és PLC forráskódokkal.
Helyszíni szolgáltatások:Kulcsrakész telepítés, vákuumkalibrálás és recepthangolás az alkalmazásmérnökök által.
Távdiagnosztika:Biztonságos VPN-modul szoftver- és folyamathibaelhárításhoz.
GYIK
K: Hogyan változtatja meg az ionrásegítés az oxid törésmutatóját?
V: Az energetikai ionbombázás kiszorítja a visszamaradt gázokat és sűrűsíti a mikrostruktúrát, így a filmek, például a Ta2O5 és a TiO2 törésmutatója közelebb kerül a tömegértékekhez.
K: Mi az ionforrás tipikus karbantartási időköze?
V: A karbantartási intervallumok 150 és 300 feldolgozási óra között vannak, a folyamatgázoktól és az üzemi teljesítménysűrűségtől függően.
K: Ez a rendszer képes kezelni a reaktív gázfolyamatokat?
V: Igen. A független tömegáram-szabályozók a reaktív gázokat (O2, N2) közvetlenül az ionforrás és a kamra zónáiba fecskendezik, biztonsági nyomáskapcsolókkal összekapcsolva.
Népszerű tags: ionsugárral segített párologtató berendezések, Kína ionsugárral segített párologtató berendezések gyártói, beszállítói, gyárai
