Termék áttekintése
Az IAE-sorozatú ion-párolgásos vékonyréteg-berendezés egyesíti a fizikai gőzleválasztást (PVD) a valós-idejű ionsugaras bombázással. Azáltal, hogy a hő- vagy elektronsugaras párolgás során energikus ionokat irányít a szubsztrátra, a rendszer lendületet ad át a kondenzálódó adatomoknak, átalakítva a növekvő film mikroszerkezetét.
Ez a kinetikus energiaátadás megszünteti az oszlop üregeit, elnyomja a nedvesség felszívódását, és blokkolja a törésmutatót a környezeti páratartalom eltolódása ellen. Az optikai és félvezető gyártósorok folyamatos több{1}}műszakos működésére kialakított platform a nagy-precíziós lézeroptikától a szilícium lapkákig terjedő hordozóanyagokat kezeli.
-
![Ionos-vákuumpárologtató berendezés]()
Ionos-vákuumpárologtató berendezésAz ion-támogatott vákuumpárologtatási rendszer nagy-vákuum-termikus vagy elektronsugaras{2}}párologtatási forrásokat integrál Kaufman-típusú vagy End-Hall-ionforrással. Azáltal, hogy a növekvő...még több -
![Ion{0}}Vékonyréteg-leválasztó rendszer]()
Ion{0}}Vékonyréteg-leválasztó rendszerAz Ion-Assisted Thin Film Deposition System a több-zsebelektron-sugarat/termikus párologtatást egy nagy-teljesítményű End-Hall vagy Kaufman- típusú ionforrással integrálja. A fizikai gőzlerakódás...még több -
![Ionsugárral segített párologtató berendezés]()
Ionsugárral segített párologtató berendezésAz IBAE rendszer az elektronsugarat- vagy a termikus párologtatást egy integrált széles-sugaras ionforrással kombinálja. Az egyidejű ionbombázás a filmnövekedés során kinetikus energiát ad át a...még több -
![Ionos-vékonyréteg-leválasztó berendezés]()
Ionos-vékonyréteg-leválasztó berendezésAz IA-sorozatú ion-vékonyréteg-leválasztási berendezés integrálja az elektron-sugaras hőpárologtatást Kaufman vagy End-Hall ionforrással. Az energetikai ionbombázás (argon/oxigén keverék) a...még több -
![Ion-párolgást segítő vékonyréteg-rendszer]()
Ion-párolgást segítő vékonyréteg-rendszerAz ion{0}}elpárolgásos (IAE) vékonyréteg-rendszer egyesíti a fizikai gőzleválasztást (PVD) az energetikai ionsugaras bombázással. A termikus vagy elektronsugaras-párologtatás során egy segéd...még több -
![Ion{0}}párolgást segítő vékonyréteg-berendezés]()
Ion{0}}párolgást segítő vékonyréteg-berendezésIpari-minőségű ion-segített párologtatási (IAE) rendszer, amely integrálja a több-zsebelektron-sugaras párologtatást egy energikus ionsugárforrással (End-Hall vagy Kaufman konfiguráció). A valós...még több
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikáció |
|
Végső alapnyomás |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Párolgási források |
Több-zsebű E-sugaras pisztoly (4 × 15–40 cm3) és rezisztív hőforrások |
|
Ionforrás típusa |
Gridless End-Hall / Kaufman- típusú ionforrás (sugárfeszültség: 50–1500 V, ionáram: 0,1–3 A) |
|
Filmvastagság szabályozás |
Kvarckristály mikromérleg (QCM) + optikai megfigyelő rendszer (OMS), pontosság ± 0,1 nm |
|
Aljzatrögzítés |
Bolygóforgató berendezés, a kupola sugara a hordozó geometriájához igazítva |
|
Aljzat fűtése |
Sugárzó fűtőtömb, 350 fokig ± 2 fokos PID egyenletességgel |
|
Vezérlési architektúra |
PLC + Ipari PC, automatizált receptvégrehajtás, SECS/GEM kompatibilis adatnaplózás |
Ion{0}}asszisztált leválasztási folyamat
Gőztermelés:
Az anyagot szabályozott lerakódási sebességgel (0,1–2,0 nm/s) párologtatják el az e-sugártégelyből vagy a termikus csónakból.
01
Lendület átadás:
Az energetikai ionok (Ar⁺, O⁺) bombázzák az aljzat felületét az E-nyalábból vagy hőforrásból érkező gőzárammal egyidejűleg.
02
Mikrostruktúra módosítás:
Az ionhatás fokozza az adatom felületi mobilitását, megakadályozza az oszlopos szemcsék növekedését, és közel -tömbsűrűséget ér el (a csomagolási sűrűség > 99%).
03
Sztöchiometriai korrekció:
A reaktív ion-rásegítés (O₂) biztosítja a szub--oxidok teljes oxidációját fém-oxid filmekben (pl. Ta2O5, Nb2O5, SiO₂), megszüntetve az abszorpciós sávokat az UV-NIR spektrumban.
04
Film anyagok
oxidok:
SiO₂, Ta2O5, TiO₂, Nb2O5, HfO₂ (Magas törésmutató-stabilitás optikai szűrőkhöz).
Fluoridok:
MgF₂, LaF3 (alacsony törésmutatójú rétegek szélessávú AR bevonatokhoz).
Fémek:
Al, Ag, Au, Ti (Adhéziós rétegek és fémes reflektorok).
Alkalmazások
Lézeres és precíziós optika:
Sáváteresztő szűrők, dikroikus tükrök és lézeres védőbevonatok, amelyek magas lézer{0}}károsodási küszöböt (LIDT) és nulla spektrális eltolódást igényelnek hőterhelés esetén.
LiDAR fedőüveg:
Tartós, -visszaverődés-gátló (AR) és szennyeződésgátló-vékony filmek, amelyek ellenállnak a zord kültéri időjárásnak.
Félvezető csomagolás:
Nedvességzáró-kapszulázó rétegek és fém érintkező párnák, amelyek alacsony hőmérsékleten vannak lerakva.
Orvosbiológiai érzékelők:
Biokompatibilis optikai interferencia bevonatok diagnosztikai mikrofluidikus chipekhez.
Testreszabás
A kamrák és a belső elrendezések speciális gyártási lábnyomokhoz és folyamatkövetelményekhez lettek tervezve:
Kamra méretei:
Skálázható R=600 mm-es K+F egységekről R=1200 mm nagy-kapacitású gyártórendszerekre.
Szivattyús csomagok:
Konfigurálható Maglev turbomolekuláris szivattyúkkal, krioszivattyúkkal és Roots fúvóhátfalakkal a gázterhelési követelmények alapján.
Forrás integráció:
Kettős-ionforrás konfigurációk vagy ko-leválasztási beállítások összetett ötvözetből és több-rétegű gradiens filmekhez.
Automatizálási szint:
Integráció automatizált tisztatéri szubsztrát átviteli rendszerekkel (EFEM / Vacuum cluster eszközök).
Minőségellenőrzés
Szivárgás észlelés:
Minden vákuumkamra hélium szivárgást-tesztelt tömegspektrométerrel (a szivárgási sebesség < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Alkatrészek nyomon követhetősége:
Vákuumszelepek, tömegáram-szabályozók (MFC-k) és tápegységek minősített Tier-1 ipari márkáktól (MKS, Inficon, VAT).
Gyári átvételi teszt (FAT):
Futtasson -teszteket az alapnyomás, a szivattyúzási görbe, a forrás stabilitásának és a 24-órás folyamatos üreskamra-tűrőképesség ellenőrzésére a szállítás előtt.
Metrológiai hitelesítés:
A mintafuttatásokat spektrofotométerrel (transzmittancia/reflexió) és atomerőmikroszkóppal ellenőrizték (felületi érdesség Ra < 0,5 nm).
Telepítés és műszaki támogatás
Oldal előkészítési útmutató:
Átfogó közműkövetelmények a szállítás előtt (hűtővíz áramlás/nyomás, tisztatér sűrített levegő, áramelosztás, elszívó légtelenítés).
Kulcsrakész üzembe helyezés:
A helyszíni szervizmérnökök végzik a mechanikai összeszerelést, a vákuumos sütést-, az ionsugaras kalibrálást és a kezdeti folyamatrecept-kijelentkezést-a helyszínen.
Kezelői képzés:
Strukturált gyakorlati{0}}oktatás a rutin karbantartásról, a vákuumbiztonságról, a szoftverkezelésről és a hibaelhárításról.
Életciklus támogatás:
Távoli diagnosztikai interfész a szoftver gyors hibaelhárításához; a kritikus kopású cikkek (szálak, tégelyek, pajzsok) regionális készlete 48 órán belül kiszállításra.
GYIK
Kínában az egyik vezető ion--elpárologtató berendezésgyártóként és beszállítóként ismertek bennünket-. Ha személyre szabott, Kínában gyártott ion-párologtatású vékonyréteg-berendezést szeretne vásárolni, várjuk gyárunk árlistáját. Árkonzultációért vegye fel velünk a kapcsolatot.
