Termék áttekintése
A PVD Composite Thin Film Equipment egy ipari vákuumleválasztási platform, amelyet több-rétegű, ötvözet- és nanokompozit vékonyrétegek felhordására terveztek. A magnetron porlasztó és katódos ívforrásokat egyetlen vákuumkamrába integrálva a rendszer lehetővé teszi a film mikroszerkezetének, a maradék feszültségnek és a felületi adhéziónak a pontos szabályozását. A folyamatos gyártásra és a fejlett K+F-re épített platform fém, kerámia és polimer szubsztrátumokhoz méretezhető kamrageometriával rendelkezik.
-
![PVD kompozit vákuumleválasztó berendezés]()
PVD kompozit vákuumleválasztó berendezésEz az ipari PVD kompozit vákuumleválasztási platform több leválasztási technikát integrál egyetlen kamrás környezetbe, így egyenletes, többrétegű fém-, ötvözet- vagy dielektromos vékonyrétegeket...még több -
![PVD hibrid vékonyréteg-leválasztó rendszer]()
PVD hibrid vékonyréteg-leválasztó rendszerA PVD Hybrid Thin Film Deposition System egyetlen vákuumarchitektúrán belül integrálja a termikus párologtatást, az elektronsugaras (e-nyaláb) elpárologtatást és az RF/DC magnetronporlasztást. Ez...még több -
![PVD Multi{0}}Vékonyfilm-feldolgozó berendezés]()
PVD Multi{0}}Vékonyfilm-feldolgozó berendezésA PVD Multi{0}}Process Thin Film Equipment egy integrált vákuumleválasztási platform, amelyet úgy terveztek, hogy több vékonyréteg-előállítási technikát – köztük az RF/DC mágnesporlasztást, a...még több -
![PVD kompozit lerakó berendezések]()
PVD kompozit lerakó berendezésekAz ipari PVD kompozit felhordó berendezéseket több-komponensű, több-rétegű és nano-kompozit vékony-film gyártására tervezték. A rendszer egyetlen vákuumkörnyezetbe integrálja a hőpárologtatást, az...még több -
![PVD kompozit vékonyréteg rendszer]()
PVD kompozit vékonyréteg rendszerIpari -minőségű vákuumbevonatrendszer, amely integrálja a magnetronos porlasztást (RF/DC/HiPIMS) és a katódos ívpárologtatást. Folyamatos, több-rétegű, ötvözet- és nano-kompozit...még több -
![PVD kompozit vékonyréteg-berendezés]()
PVD kompozit vékonyréteg-berendezésA PVD Composite Thin Film Equipment egy ipari vákuumplatform, amelyet több-rétegű, ötvözött és osztályozott vékony filmek szintetizálására terveztek. A moduláris 304L/316L rozsdamentes acél...még több
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikációs tartomány |
|
Végső vákuumnyomás |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Üzemi nyomás |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Aljzat hőmérséklete |
Környezeti szög 800 fokig (zárt-hurkú PID vezérlésű) |
|
Lerakódási források |
Konfigurálható: DC/RF mágneses porlasztás, impulzusos egyenáram, szűrt katódív |
|
Vastagság Egyenletesség |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Kamara anyaga |
304L/316L rozsdamentes acél, mechanikusan köszörült és elektro-polírozott (Ra<= 0.4 um) |
|
Tápegység integráció |
MF generátorok (10-100 kHz), RF generátorok (13,56 MHz), impulzusos DC előfeszítés |
|
Vezérlőrendszer |
Ipari PLC + IPC automatizált receptvégrehajtással, reteszelés figyeléssel és kötegelt adatnaplózással |
Összetett lerakódási eljárás
A rendszer hibrid fizikai gőzleválasztásos architektúrát alkalmaz, amely kombinálja a magnetronos porlasztást és a katódos ívtechnológiát.
Több-forrás szinergia:
Több katód egyidejű vagy egymás utáni működése hirtelen vagy fokozatos kompozíciós átmeneteket tesz lehetővé a filmkötegben.
Ionmaratással végzett elő{0}}tisztítás:
Az RF vagy egyenáramú plazmatisztító lépések eltávolítják a natív oxidokat és a felületi szennyeződéseket a lerakódás előtt, hogy maximalizálják a bevonat-az-felület tapadását.
Reaktív lerakódás szabályozása:
A zárt-hurkú optikai emissziós spektroszkópia (OES) szabályozza a reaktív gázbefecskendezést (O2, N2, C2H2), hogy fenntartsa a stabil vegyület sztöchiometriát és megakadályozza a célpont mérgezését.
Szubsztrát előfeszítés:
A szinkronizált impulzusos előfeszítésű tápegységek nagy-energiájú ionokkal bombázzák a növekvő fóliát, sűrítik a mikrostruktúrát és testre szabják a maradék nyomófeszültséget.
Film anyagok
A berendezés a célanyagok széles spektrumát támogatja a testre szabott funkcionális követelményekhez:
Átmeneti fém nitridek és karbidok:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN a kopás- és korrózióállóságért.
Nanokompozit és többrétegű rendszerek:
TiSiN, AlTiSiN, fém/kerámia nanorétegek az extrém keménységért és magas hőmérsékletű -hőmérsékleti stabilitásért.
Átlátszó vezető oxidok (TCO):
ITO, AZO, IGZO optoelektronikai és fotovoltaikus alkalmazásokhoz.
Tiszta fémek és ötvözetek:
Ti, Cr, Al, Cu, Rozsdamentes acél, NiCr elektromos érintkezési és diffúziós gátrétegekhez.
Alkalmazások
Precíziós vágószerszámok:
Szuper-kemény, alacsony súrlódású-bevonatok (pl. TiAlN) felhordása keményfém lapkákra, fúrókra és szármarókra-, hogy meghosszabbítsák az élettartamot nagy hőterhelés mellett.
Autóipari alkatrészek:
Súrlódás-csökkentő és kopásálló-fóliák a dugattyúgyűrűkön, az üzemanyag-befecskendező alkatrészeken és a hajtóműveken.
Optoelektronika és kijelzők:
Alacsony-ellenállású, nagy-áteresztőképességű vezetőképes oxidrétegek érintőpanelekhez és napelem-hordozókhoz.
Orvosi eszközök:
Biokompatibilis és kopásálló-bevonatok sebészeti műszereken és ortopédiai implantátumokon.
Testreszabás és rendszerkonfiguráció
A mérnöki konfigurációk a gyártólétesítmény adott korlátaihoz és a folyamatreceptekhez igazodnak:
Kamra mérete:
Hengeres vagy téglalap alakú kamrás lehetőségek a K+F szakaszos rendszerektől (500 mm átmérőjű) a nagy-termelési terhelésű-zárrendszerekig (1000 mm+).
01
Pumping Suite választék:
A gyökérfúvók, turbomolekuláris szivattyúk és kriogén szivattyúk megfelelő szivattyú-leállási ideje és gázterhelési profilja alapján.
02
Aljzatrögzítés:
Testre szabott bolygóforgatási fokozatok, 3-tengelyű műholdforgatás, vagy tekercsről{2}} gördülő modulok, amelyeket összetett 3D geometriákhoz vagy folyamatos hálókhoz terveztek.
03
Automatizálási szint:
Félig{0}}automata kézi betöltési konfigurációk vagy teljesen automatizált vákuumátviteli rendszerek robotizált hordozókezeléssel.
04
Gyártás és minőségellenőrzés
Szivárgás észlelés:
Minden vákuumkamrát hélium tömegspektrométeres szivárgásvizsgálatnak vetik alá < 1 x 10^-10 Pa * m^3/s küszöbértékig.
Hegesztési ellenőrzés:
A vákuum-oldalhegesztéseket AWI hegesztéssel, köszörüléssel és polírozással végzik, majd kérésre röntgen- vagy festékbehatolási vizsgálatot végeznek.
Elektromos és biztonsági megfelelőség:
Az NFPA 79 vagy CE/IEC szabványoknak megfelelően épített vezérlőpanelek, amelyek hardveres reteszeléssel rendelkeznek a vízáramlás, a gáznyomás és az elektromos biztonság érdekében.
Gyári átvételi teszt (FAT):
A szállítás előtti tesztelés magában foglalja a 72-órás folyamatos szárazon-futást, a vákuumteljesítmény-ellenőrzést és a bevonat tesztfelhordását az ügyfél által megadott receptek alapján.
A webhely előkészítésének irányelvei:Átfogó létesítményi követelményeket tartalmazó dokumentum, amely részletezi a közüzemi interfészeket (hűtővíz áramlása/nyomása, elektromos terhelés, sűrített levegő, kipufogó).
Helyszíni üzembe helyezés:-A helyszíni szervizmérnökök elvégzik a mechanikai beállítást, a vákuumszivárgás-ellenőrzést, az elektromos bekötéseket{0}} és a kezdeti kalibrációt.
Folyamat recept hangolása:Helyszíni együttműködés az ügyfelek kohászaival és folyamatmérnökeivel a filmvastagság, a feszültség és a keménység célparamétereinek rögzítése érdekében.
Életciklus támogatás:Távoli diagnosztikai interfész, lokalizált pótalkatrész-készlet és ütemezett megelőző karbantartási programok.
GYIK
Jól ismertek{0}}, mint az egyik vezető pvd kompozit vékonyréteg-felszerelés gyártója és beszállítója Kínában. Ha Kínában gyártott, testreszabott pvd kompozit vékonyréteg-berendezést szeretne vásárolni, várjuk gyárunk árlistáját. Árkonzultációért vegye fel velünk a kapcsolatot.
