Ipari -minőségű vákuumbevonatrendszer, amely integrálja a magnetronos porlasztást (RF/DC/HiPIMS) és a katódos ívpárologtatást. Folyamatos, több-rétegű, ötvözet- és nano-kompozit vékony-film-lerakásra tervezték gyártási méretekben.
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikációs érték |
|
Végső vákuumnyomás |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Kamra méretei |
Egyedi méretezés D 600 mm x 600 mm-től D 1500 mm x 1500 mm-ig (304/316L elektro-polírozott rozsdamentes acél) |
|
Lerakódási források |
Konfigurálható: 2-6 magnetron porlasztó katód / 2-4 ívforrás |
|
Szubsztrát torzítási teljesítmény |
0 és -1000 VDC között állítható (impulzusos DC dielektromos hordozókhoz) |
|
Filmvastagság egyenletessége |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Aljzat hőmérséklete |
Környezeti szög 650 fokig (+/- 2 fokos PID zárt-hurokvezérlés) |
|
Áramelosztás |
RF (13,56 MHz), DC, impulzus DC és közép{1}}frekvencia (MF) ívelnyomással |
Főbb jellemzők
Kettős-technológiai integráció:Egyesíti a porlasztást (sima, amorf összetett filmek) és a katódos ívet (erős-ionizációs fém/ötvözet leválasztás) egyetlen szivattyú-leállítási ciklusban.
Zárt{0}}körű gázkezelés:Az optikai emissziófigyeléssel (OEM) párosított tömegáram-szabályozók (MFC-k) stabilizálják a reaktív gáz parciális nyomását.
Mechanikai szigetelés:A több-tengelyű bolygóhajtások elszigetelik a mechanikus csapágyakat a folyamatzónától, megakadályozva a részecskék szennyeződését.
Termikus építészet:A dupla-falú, vízhűtésű
Automatizálási mag:Siemens S7{1}}1500 PLC és WinCC SCADA architektúra a valós idejű reteszelés, gáz és tápellátás figyeléséhez.
Vákuumrendszer konfigurációja
Roughing vonat:Közvetlen meghajtású-forgólapátos szivattyúk, amelyeket Roots ventilátorok támogatnak mágneses folyadéktömítésekkel.
Nagy vákuum:Mágnesesen lebegtetett turbó-molekulaszivattyúk (1200 - 3200 L/s) vagy kriogén szivattyúk.
Diagnosztika:Integrált hélium tömegspektrométer tesztportok és automatizált szekvenáló reteszek.
Anyag- és alapfelület-kompatibilitás
Cél anyagok:
Fémek:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Kerámiák/vegyületek:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Aljzatok:Szerszámacélok (H13, M2, keményfém lapkák), titán/alumínium szerkezeti ötvözetek, műszaki kerámiák és szilícium lapkák.
Alkalmazások és bizonyított teljesítmény
Vágószerszámok:Alacsony-súrlódású, nagy-keménységű több-rétegű bevonatok (TiAlN/TiN) a meghosszabbított szerszámélettartam érdekében száraz, nagy sebességű-megmunkálásnál.
Autóipar:Kopás- és{0}}kopásgátló bevonatok a dugattyúgyűrűkhöz és az üzemanyag-befecskendező csapokhoz.
Repülőgép:Oxidációnak{0}}álló hőszigetelő és védőfóliák a kompresszorlapátokon és a rögzítőelemeken.
Optika és elektronika:Vezetőképes átlátszó oxidok (ITO) és optikai interferenciaszűrők.
Testreszabási lehetőségek
Kamra geometriája:Négyszögletes doboz konfigurációk kötegelt rack-betöltéshez vagy hengeres soros geometriákhoz.
Forrás utólagos felszerelés:Cserélhető katódszerelő karimák a terepi konverzióhoz CFUBMS-re.
Plazma maratás:Kaufmann{0}}típusú ionpisztolyok vagy üreges katódforrások in-situ hordozótisztításhoz.
Minőségellenőrzés és gyári tesztelés
Vákuum integritás:Hélium szivárgásteszt küszöbértéke<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Felületkezelés:A kamra belső hegesztései elektro{0}}Ra-ra polírozva<= 0.4 um.
ZSÍR:A vákuum, a mozgás és a biztonsági retesz hurkok 72-órás folyamatos szárazonfutási tesztje a ládázás előtt.
Megfelelőségi szabványok:A CE gépekre vonatkozó irányelvek és az ISO 9001 szabványok szerint készült. (Trust Badge ikonok: ISO 9001, CE, UL)
Telepítés és műszaki támogatás
Dokumentációs csomag:P&ID kapcsolási rajzok, elektromos kapcsolási rajzok, PLC-forrás logika és CE/UL megfelelőségi dokumentációk.
Üzembe helyezés:A helyszíni mérnökök felügyelik a mechanikai pozicionálást, a közüzemi bekötéseket és a szivárgásellenőrzést.
SAT és recept átadás:Helyszíni alaptesztek- és receptoptimalizálás.
GYIK
K: Mennyi a szivattyú-leállási ideje az alapnyomásig?
V: Tiszta, száraz és környezeti hőmérséklet mellett 45 percen belül eléri az 5,0 x 10^-4 Pa-t.
K: Válthat a rendszer a folyamat közbeni DC és RF porlasztás között?
V: Igen. A teljesítménymátrix lehetővé teszi a szoftveresen{1}}vezérelt szekvenálást a DC, az impulzusos egyenáram és az RF között a vákuum feltörése nélkül.
K: Milyen segédprogramokra van szükség a webhelyen-?
V: Hűtött víz (15-20 fok, 0,3-0,4 MPa), sűrített levegő (0,6 MPa), nagy-tisztaságú technológiai gázok (Ar, N2, O2 99,999%) és dedikált 3 fázisú ipari áram.
K: Hogyan szabályozható az aljzat hőmérséklete a lerakódás során?
V: Beépített infravörös pirométerek sugárzó fűtőelemekkel és zárt hurkú PID{0}}vezérléssel.
Népszerű tags: pvd kompozit vékonyréteg-rendszer, Kína pvd kompozit vékonyréteg-rendszer gyártói, beszállítói, gyárai, Új generációs vékonyréteg -felszerelés, Vékony film berendezés a légtisztításhoz, Vékony filmkészlet nyomtatott elektronikához
