Az EBE{0}}V600 sorozat egy ipari-léptékű fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) platform, amelyet optikai alkatrészek, félvezető eszközök és fejlett anyagok precíz vékony-filmbevonására terveztek. Azáltal, hogy nagy-energiájú, mágnesesen fókuszált elektronsugarat irányít a vízhűtéses tégelyekben lévő-forrásanyagokra, a rendszer gyors párolgási sebességet ér el, miközben a hőterhelést elszigeteli a kamra falaitól.

Az architektúra több-zsebelektronforrásokat és kettős kvarckristály mikroegyensúly (QCM) érzékelőket tartalmaz, biztosítva a sztöchiometrikus filmhűséget és a konzisztens vastagságszabályozást a több-rétegű dielektromos vagy fémkötegben.

Műszaki előírások

Műszaki paraméter	Specifikációs érték
Kamra geometriája és anyaga	Φ600 mm x 600 mm hengeres edény; SS304 elektropolírozott belső tér külső hűtővíz köpenyekkel
Végső alapnyomás	<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping)
Leszivattyúzási-ciklusidő	<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa)
Elektron Gun Power	6 kW-tól 12 kW-ig terjedő, több zsebes konfiguráció 270 fokos sugáreltérítéssel
Crucible Hearth Kapacitás	4-6 zseb (Cserélhető réz/grafittégelyek, 15-40 cm3 térfogat zsebenként)
Szubsztrátum Stage Rotation	0-30 ford./perc változó fordulatszámú bolygóműves vagy közvetlen hajtás
Aljzat fűtési tartománya	Környezeti szög 600 fokos PID zárt{1}}hurkú halogén lámpasoron keresztül
Vastagságfigyelés	Kettős QCM érzékelő automatikus redőny visszacsatolás vezérléssel

Főbb jellemzők

270 fokos mágneses eltérítés E{1}}pisztoly:Elszigeteli a wolframszálat a közvetlen páraúttól, megakadályozza a rövidzárlatot-, és meghosszabbítja az élettartamot a karbantartási intervallumok között.

Digitális sweep vezérlés:A programozható raszterminták egyenletesen osztják el az elektronenergiát az elpárologtató felületen, csökkentve a lyukak kialakulását és az ötvözetlerakódás során a preferált párolgást.

Leválasztott vákuum-architektúra:A durva és nagy{0}}vákuumszivattyús vezetékek szerkezetileg el vannak választva a főkamra keretétől, hogy elnyomják a mechanikai rezgésátvitelt a film növekedése során.

Hardveres reteszelő biztonsági mátrix:Valós idejű PLC figyeli a hűtővíz áramlását, a nagy-feszültségű visszacsatolást, a pneumatikus nyomást és az ajtótömítés integritását.

Vákuumrendszer konfigurációja

A vákuum{0}}aláramkört gyors ciklusra és alacsony alapnyomásra tervezték, hogy minimalizálja a maradék gáz (H2O, O2, N2) beépülését a növekvő fóliákban:

Nagy{0}}vákuumszivattyú:1200 L/s turbó-molekuláris szivattyú, amelyet két-fokozatú forgólapátos szivattyú (vagy száraztekercses szivattyú konfigurációja a tisztatér-megfelelőség érdekében) támogat.

Elkülönítő szelep:Pneumatikusan működtetett nagy{0}}vezetőképességű tolózár, amely elszigeteli a kamrát a terhelési műveletek során.

Vákuummérés:Kombinált Pirani és Cold Cathode ionizációs műszerek, amelyek folyamatos tartományt fednek le az atmoszférától a 10^-6 Pa-ig.

Film anyagok és szubsztrátok

Kompatibilis párolgási források

Oxidok és dielektrikumok:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2

Tiszta fémek:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni

Félvezetők és vezetők:Si, Ge, ITO (indium-ón-oxid)

Alkalmazások

Optikai interferencia szűrők:Magas-indexű és alacsony-indexű több-rétegű veremlerakás keskeny-sávú szűrőkhöz és lézertükrökhöz.

Félvezető eszköz gyártása:Ohmos érintkezés kialakulása, kapuoxidos lerakódás és fém magrétegek.

OLED és kijelzőkutatás:Vékony fémkatódos leválasztás és több-rétegű szerves/szervetlen passzivációs tesztek.

Kemény tűzálló bevonatok:Kopásálló védőrétegek-mechanikai és repülőgép-alkatrészekhez.

Testreszabás

Kamara bővítése:Kibővített edénymagasságok vagy téglalap alakú geometriák a fürteszközök integrálásához.

Forrás integráció:Egyidejű hőpárolgási források (ellenálló csónakok) elektronsugaras ágyúkkal kombinálva.

Ion{0}}asszisztált lerakódás (IAD):Végső{0}}Hall- vagy Kaufman-ionforrás integrálása a filmsűrítéshez és a feszültséghangoláshoz.

Szoftver architektúra:Siemens S7 vagy Beckhoff automatizálási keretrendszerrel kompatibilis PLC/HMI receptprogramozás.

Minőségellenőrzés

Tömegspektrométeres hélium szivárgásteszt:Minden kamrahegesztést < 1 x 10^-9 Pa·m3/s selejtezési küszöbig tesztelnek az integráció előtt.

Elektromos megfelelőség:A nagy-feszültségű dielektromos ellenállási tesztek és a földelés folytonosságának ellenőrzése a CE/UL irányelvek szerint.

Gyári átvételi teszt (FAT):72-órás folyamatos száraz{2}}futási teszt, amely naplózza az alapnyomás görbéit, az e-beam sweep ismételhetőségét és a reteszelés válaszidejét. Az egységgel együtt szállított tesztdokumentáció.

Telepítés és műszaki támogatás

Helyszíni üzembe helyezés:A gyári-minősített mérnökök irányítják a mechanikai beállítást, a vákuumszivárgás ellenőrzését, a közművek csatlakoztatásának felügyeletét és a kezdeti kalibrálást.

Műszaki képzés:3-napos helyszíni üzemeltetési és karbantartási protokoll oktatás, amely kiterjed az izzószál cseréjére, a vákuumszelep-újraépítésre és a receptúra szerkesztésére.

Szállítandó dokumentáció:Komplett műszaki iratgyűjtők, beleértve a P&ID kapcsolási rajzokat, elektromos kapcsolási rajzokat, PLC biztonsági mentési fájlokat és a pótalkatrészek részletezését.

Gyakran Ismételt Kérdések

K: Mennyi az e-pisztoly volfrámszálának élettartama, és hogyan szervizelték?

V: Normál üzemi nyomás mellett (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.

K: Hogyan akadályozza meg a rendszer a köpködést az oxidlerakódás során?

V: A digitális sweep generátor elosztja az elektronenergiát az oxidpellet számított rasztermátrixán. Ez kiküszöböli a helyi túlmelegedést, megakadályozza a robbanásveszélyes forrást, és elnyomja a mikro{1}}cseppek kilökődését.

K: Milyen közüzemi infrastruktúrák kötelezőek a telepítés helyén?

A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/perc, hőmérséklet 18-25 fok .
Elektromos hálózat: 3{5}}fázisú, 380 V ± 10%, 50/60 Hz (vagy gyárilag a regionális szabványoknak megfelelően konfigurálva).
Sűrített levegő: 0,5 MPa - 0,7 MPa száraz levegő pneumatikus szelepmozgatókhoz.

K: A távdiagnosztikai hozzáférés integrálva van a vezérlőrendszerbe?

V: Igen. Egy elkülönített Ethernet-port támogatja a biztonságos VPN-kapcsolatot a távoli PLC-naplók lekéréséhez és a szoftver hibaelhárításához mérnöki csapatunk által.

Népszerű tags: elektronsugaras párologtató vékonyréteg-berendezés, Kína elektronsugaras párologtató vékonyréteg-berendezés gyártói, szállítói, gyárai